二、半导体硅片
半导体硅片是半导体的基底材料,一般来说硅片可以分为光伏级硅片和半导体级硅片,两者主要是纯度上的区别,光伏硅片要求99.9999%-99.999999%(4个9到6个9的纯度),半导体硅片要求99.999999999%(9个9以上的纯度,最先进的半导体要求11个9的纯度)。我国在光伏级硅片上有全球领先优势,但是半导体级硅片市场仍然占据在日本、韩国、德国和中国台湾厂商的手中。
三、工艺流程
半导体硅片的主要工艺流程是:高纯度多晶硅通过直拉法或区熔法拉出单晶硅棒(主要是直拉法),然后对单晶硅棒进行切片,再经过边沿打磨、表面研磨、抛光、清洗等工艺,使得硅片表面平整且没有杂质。
四、硅片尺寸
8英寸、12英寸硅片占据90%以上的市场份额,12英寸硅片市场占有率不断提升。未来12英寸(300mm)以上的大硅片将继续成为主流,高端芯片都将使用大硅片生产,较小硅片用于中低端芯片。大硅片的好处是能够降低单个芯片的生产成本。